Особенности спектров отражения тонких пленок углерода и кремния в видимой области
УДК 539.216
Аннотация
Статья посвящена рассмотрению отражения видимого света от тонкой поглощающей пленки. По ряду причин в последнее время тонкие пленки являются предметом пристального изучения. В рамках работы были изготовлены несколько пленок неметаллов на стеклянной подложке: кремниевые пленки (путем резистивного испарения) и углеродные пленки (с помощью лазерного испарения). Полученные пленки имеют оптическую толщину в пределах 1 мкм (т.е. реальная толщина слоя находится в диапазоне 0,2-0,4 мкм) и при этом заметно поглощают световой поток. Пленки были обработаны по стандартной методике в видимой области с использованием спектрометра USB4000. Спектры отражения для каждой из пленок были построены для нескольких разных точек поверхности. Если не принимать во внимание различия в числовых значениях, то спектры выглядят аналогично. При больших длинах волн (в красной области) вклад интерференции лучей, отраженных от передней и задней границ, значителен, тогда как в области коротких волн (фиолетовая часть спектра) интерференция практически исчезает на фоне шумов прибора. Причины этого в том, что поглощение при распространении внутри пленки коротковолновой части существенно уменьшает интенсивность луча, отраженного от задней поверхности пленки.
Скачивания
Metrics
Литература
Золотарев А.А. Современные материалы теплового контроля на основе углерода в микроэлектронике // Инновационные технологии в электронике и приборостроении : сб. докл. Российской научн.-технич. конф. с междунар. участием. М., 2021.
Иовдальский В.И., Пелипец О.В., Зубков Н.П., Ковалев В.И. Исследование состава алмазоподобных пленок углерода, используемых в изделиях микроэлектроники // Водородное материаловедение и химия углеродных наноматериалов : сб. докл. XI Международной конф. Ялта, 2009.
Мансуров Г.Н., Петрий О.А. Электрохимия тонких металлических пленок. М., 2011.
Хорьков К.С., Герке М.Н., Прокошев В.Г., Аракелян С.М. Образование тонких углеродных пленок при воздействии фемтосекундного лазерного излучения в вакууме // Известия вузов. Химия и химическая технология. 2012. Т. 55. № 6.
Григорьев Ф.В. Математическое моделирование процесса напыления тонких пленок, их структуры и свойств : дисс. ... д-ра физ.-мат. наук. М., 2019.
Маскаева Л.Н., Федорова Е.А., Марков В.Ф. Технология тонкопленочных покрытий. Екатеринбург, 2019.
Юнович А.Э. Оптические явления в полупроводниках. М., 1989.
Карпова А.А., Котова Е.И., Парфенова А.Д., Щеглов С.А. Метод измерения параметров тонких пленок, разработанный на основе методов интерферометрии переменного угла падения // Наука и инновации в технических университетах : матер. XIII Всероссийского форума студентов, аспирантов и молодых ученых. СПб., 2019.
Ландсберг Г.С. Оптика. М., 2010.
Блох А.Г., Журавлев Ю.А., Рыжов Л.Н. Теплообмен излучением: справочник. М., 1991.
Лизункова Д.А. Исследование электрических и оптических свойств фоточувствительных структур на наноструктурированном кремнии : дисс. ... канд. физ.-мат. наук. Самара, 2018.
Соломатин К.В., Елькина Е.А. Определение толщины тонкой углеродной пленки оптическими методами : сб. науч. ст. VI Российско-Казахстанской молод. научн.-технич. конф. «Новые материалы и технологии». Барнаул, 2018.
Copyright (c) 2022 Константин Васильевич Соломатин , Ольга Сергеевна Мельникова , Алексей Сергеевич Белоусов
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
