Особенности спектров отражения тонких пленок углерода и кремния в видимой области

УДК 539.216

Аннотация

Статья посвящена рассмотрению отражения видимого света от тонкой поглощающей пленки. По ряду причин в последнее время тонкие пленки являются предметом пристального изучения. В рамках работы были изготовлены несколько пленок неметаллов на стеклянной подложке: кремниевые пленки (путем резистивного испарения) и углеродные пленки (с помощью лазерного испарения). Полученные пленки имеют оптическую толщину в пределах 1 мкм (т.е. реальная толщина слоя находится в диапазоне 0,2-0,4 мкм) и при этом заметно поглощают световой поток. Пленки были обработаны по стандартной методике в видимой области с использованием спектрометра USB4000. Спектры отражения для каждой из пленок были построены для нескольких разных точек поверхности. Если не принимать во внимание различия в числовых значениях, то спектры выглядят аналогично. При больших длинах волн (в красной области) вклад интерференции лучей, отраженных от передней и задней границ, значителен, тогда как в области коротких волн (фиолетовая часть спектра) интерференция практически исчезает на фоне шумов прибора. Причины этого в том, что поглощение при распространении внутри пленки коротковолновой части существенно уменьшает интенсивность луча, отраженного от задней поверхности пленки.