Абылкалыкова РБ, Квеглис ЛИ, Рахадилов БК, Бектасова ГС. Особенности массопереноса при ионной имплантации. Известия АлтГУ [Интернет]. 12 сентябрь 2019 г. [цитируется по 21 февраль 2026 г.];0(4(108):11-7. доступно на: https://izvestiya.asu.ru/article/view/%282019%294-01