Ориентированная столбчатая структура тонкой интерметаллической пленки Cu6Sn5

А.Н. Макрушина, В.А. Плотников, Б.Ф. Демьянов

Аннотация


Проведенные исследования интерметаллической пленки Cu6Sn5 обнаружили новый тип структуры - нанокристаллическую высокоориентированную столбчатую структуру. Исследованы процессы синтеза интерметаллических соединений в многослойных тонких пленках системы Cu-Sn, локализованные в реакционных островках, размер которых может достигать 100 нм. Сканирующая зондовая микроскопия свидетельствует об островковой структуре пленки. В процессе конденсации олова образуется высокотемпературная фаза Cu6Sn5 с гексагональной решеткой. Ренттеноструктурный анализ выявил преобладание одной интерметаллической фазы Cu6Sn5, а электронная микроскопия свидетельствует о преимущественно одинаковой кристаллографической ориентации островков интерметаллической фазы. Однако система нанокристаллов не является классическим вариантом поликристаллической системы. Структура электронных рефлексов позволяет считать, что островки интерметаллической тонкой пленки развернуты на различные углы вокруг одной кристаллографической оси [100]. Именно медь оказывает значительное ориентирующее действие на рост интерметаллической фазы Cu6Sn5, ориентируя его по направлению [111].

Ключевые слова


тонкие пленки; интерметаллическое соединение; коэффициент диффузии; структурно-фазовое состояние; рентгеноструктурный анализ тонких пленок

Полный текст:

PDF

Метрики статей

Загрузка метрик ...

Metrics powered by PLOS ALM

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.