Абылкалыкова РБ, Квеглис ЛИ, Рахадилов БК, Бектасова ГС. Особенности массопереноса при ионной имплантации. Известия АлтГУ [Интернет]. 12 сентябрь 2019 г. [цитируется по 26 апрель 2024 г.];0(4(108):11-7. доступно на: http://izvestiya.asu.ru/article/view/%282019%294-01