Абылкалыкова Р. Б., Квеглис Л. И., Рахадилов Б. К., Бектасова Г. С. Особенности массопереноса при ионной имплантации // Известия Алтайского государственного университета, 2019, № 4(108). С. 11-17 DOI: 10.14258/izvasu(2019)4-01. URL: http://izvestiya.asu.ru/article/view/%282019%294-01.